双面研磨机
YJ-16B5LC
产品介绍
双面研磨机YJ-16B5LC
本机器主要用于碳化硅片、砷化镓片、硅片、陶瓷片、石英晶体及其它半导体材料的双面高精度研磨，也适用于其它金属、非金属、光学玻璃等硬、脆、薄材料的双面高精度研磨。因此在电子、仪器仪表、光学材料等行业里有着广泛的应用。
产品特点
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01
机器采用四电机驱动，下盘、上盘、内齿圈和太阳轮分别由电机单独驱动；
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02
机器整体结构紧凑，运行平稳，有效地缩短各传动轴的长度，增加机器的机械刚度；
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03
电机采用变频调速器控制，能在有效设置范围内以任意速度工作、停止、加速、减速；
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04
上盘装置增加机械的安全装置，在摆片、维修等状态下不会因突然故障而下降，增加了安全性。
产品参数
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上、下盘尺寸φ1125×φ393×50(mm)
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游星轮数量5
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工件厚度M=3 Z=142
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工件直径0.35~35mm
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上盘转速/下盘转速5~45rpm/5~48rpm
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太阳轮转速/内齿圈转速3~30rpm/3~24rpm
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内齿圈、太阳轮抬升行程35mm
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上盘压力范围≤ 500Kg
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上、下盘电机7.5kw 1450rpm/7.5kw 1450rpm
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太阳轮电机/内齿圈电机1.5kw 1450rpm/2.2kw 1450rpm
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升降电机/砂泵电机400w/250w
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电源/耗电量3相 380V／20KW
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气源/耗气量0.5~0.6Mpa/20xN(L/H)(N为每小时循环工作次数)
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上、下盘平面度≤0.03mm
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下盘端跳/压力控制精度≤0.02mm/≤±5Kg
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外形尺寸2350×1660×2550 (mm)
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机器重量~6000Kg
